北京大学量子材料科学中心微纳加工实验室简介

    北京大学量子材料科学中心微纳加工实验室是为了满足中心及物理学院师生开展微尺度器件制备和量子输运研究而建立的公共技术平台。微纳加工实验室于2011年5月由危健老师负责开始规划;2012年2月开始超净间施工;2012年7月起由罗强工程师负责具体建设和运行维护。在物理学院东楼201-203三个房间连通构成的200平方米超净间内(包括百级间两个),装备了先进的、适用于基础研究的微纳加工设备。目前已经购置的仪器设备有FIB/SEM双束显微镜,紫外光刻机,热蒸发镀膜机,电子束蒸镀系统,磁控溅射镀膜机,反应离子刻蚀机,离子束刻蚀系统,原子力显微镜,探针表面形貌仪,引线键合机,快速退火炉,紫外线-臭氧清洗机,光学显微镜,点焊机等。

    实验室实行规范的管理制度,由量子材料科学中心从事实验研究的相关老师组成的微纳加工实验室管理委员会,作为实验室的指导机构,负责指导审议实验室的重大事项,实验室主管负责具体运行。

微纳加工实验室管理委员会成员:

chenjianhao    duruirui    linxi    luoqiang    sundong    wangjian    zhangchi

微纳加工实验室主管:

luoqiang