北京大学量子材料科学中心微纳加工实验室化学试剂管理规则

        北京大学量子材料科学中心微纳加工实验室(以下简称微纳加工实验室)是为了满足量子材料科学中心及物理学院师生开展微尺度器件制备和量子输运研究而建立的公共技术平台。微纳加工实验室净化间属于封闭空间,本着安全是一切工作的前提和基础的原则,带入使用化学试剂必须遵从以下管理规则。

1.化学试剂分类
        微纳加工实验室净化间允许使用的化学试剂分为通用化学试剂和专用化学试剂。其中通用化学试剂是指在本实验室内的常规工艺实验中进行样品清洗及光刻所需的化学试剂;专用化学试剂是指用户进行其它操作所需的化学试剂。
1.1通用化学试剂
        微纳加工实验室净化间允许使用的通用化学试剂仅限乙醇、异丙醇、丙酮、光学光刻胶及显影液、电子束光刻胶及显影液。带入使用通用化学试剂无需向实验室主管申报。
1.2专用化学试剂
        微纳加工实验室净化间允许使用的专用化学试剂由用户根据实验需要向实验室主管申报,经由微纳加工实验室管理委员会审批同意后列入专用化学试剂清单(表1),带入使用清单内的专用化学试剂无需再向实验室主管申报。若用户有新的需求,须按前述流程提供化学试剂名称及其MSDS(化学品安全说明书)电子版,待审批同意并更新进入专用化学试剂清单后,才能将化学试剂带入使用。

序号 化学试剂名称 审批许可日期
1 硫酸 20210119
2 磷酸 20210119
3 盐酸 20210119
4 柠檬酸 20210119
5 氨水 20210119
6 氢氧化钠 20210119
7 氯仿 20210119
8 三氯乙烯 20210119
9 双氧水 20210119
10 硫化铵 20210119
11 ALUMINUM ETCHANT TYPE D刻蚀液 20210119
12 TRANSETCH – N 刻蚀液for Al2O3 20210119
13 Cr腐蚀液TRANSENE-1020 20210127
14 清漆GE Varnish 7031 20210203

表1  微纳加工实验室净化间允许使用的专用化学试剂清单

2.化学试剂使用
        微纳加工实验室净化间内的所有化学处理都必须在通风橱内完成,用户要确保了解所使用化学试剂的物理化学性质,并正确操作。使用通风橱或化学试剂后,应保持通风橱清洁,并将化学试剂容器和实验器皿放回原处,废液分类倒入指定的废液回收桶内并将桶盖盖好。

3.化学试剂管理
3.1通用化学试剂管理
        微纳加工实验室净化间允许使用的通用化学试剂中,紫外光刻所用的光刻胶和显影液由实验室统一提供,存放在紫外光刻间内;其余通用化学试剂由用户自备自管,可以存放在样品清洗间。
3.2专用化学试剂管理
        微纳加工实验室净化间允许使用的专用化学试剂皆由用户自备自管(包括废液回收处理),用户需要使用时带入净化间内,使用完毕及时带走。如果近期还需继续使用,用户必须将其装入自备的收纳箱内并锁上,妥善暂存在样品清洗间内。用户自备的收纳箱必须在明显位置贴有标签,并清晰地标注姓名和联系方式。

        所有在微纳加工实验室净化间内需要使用化学试剂的人员请认真阅读并严格遵守以上各项规定。违反上述规定者,视情节轻重予以警告教育、取消进入净化间工作权限等处罚。